近日，36 氪獲悉，半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商上海勵(lì)兆科技宣布完成數(shù)千萬(wàn)元 Pre-A 輪融資，并邀請(qǐng)到前愛(ài)思強(qiáng)中國(guó)區(qū)總經(jīng)理宋偉加入擔(dān)任副總裁。本輪融資由中芯聚源領(lǐng)投，Monolith 礪思資本和臨港科創(chuàng)投共同投資。

勵(lì)兆科技成立于 2022 年 8 月，位于上海市閔行區(qū)，是一家專注于半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域的射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商。

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)大概未來(lái)大約有超過(guò) 50 億人民幣的市場(chǎng)規(guī)模。但國(guó)內(nèi)公司在半導(dǎo)體射頻領(lǐng)域技術(shù)積累較少，美國(guó) MKS、AE，日本 Daihen、Kyosan 和德國(guó)霍廷格等公司壟斷了 95% 以上的市場(chǎng)份額。

等離子體廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。在現(xiàn)實(shí)生活中，等離子技術(shù)已經(jīng)得到各種廣泛運(yùn)用，尤其在泛半導(dǎo)體制造工藝領(lǐng)域。除了濕法制程之外，等離子體的應(yīng)用領(lǐng)域幾乎覆蓋了從刻蝕 ( Etch ) ，原子層沉積 ( ALD/ALE ) ，物理化學(xué)沉積 ( PVD/CVD ) ，離子注入 ( Implant ) ，干法去膠 ( Strip ) 到光刻 ( Photo ) ，甚至化學(xué)機(jī)械研磨 ( CMP ) 的大部分細(xì)分半導(dǎo)體制程。等離子體發(fā)生和應(yīng)用系統(tǒng)也就成為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的基礎(chǔ)子系統(tǒng)之一，其他的關(guān)鍵子系統(tǒng)還包括真空系統(tǒng)、流量系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、傳送系統(tǒng)等等。

勵(lì)兆科技創(chuàng)始人趙馗告訴 36 氪，勵(lì)兆科技團(tuán)隊(duì)在射頻、電力電子、控制和算法技術(shù)上都具有較深積累和完備的布局。高頻電力電子是射頻技術(shù)的一種，其人才在全球都非常稀缺，半導(dǎo)體射頻電源要求兆赫茲級(jí)別的電力電子技術(shù)。公司核心成員從 2012 年便開(kāi)始深耕這個(gè)領(lǐng)域的研究，是國(guó)際上為數(shù)不多的華人專家之一。

同時(shí)，產(chǎn)品的算法需要和半導(dǎo)體工藝相結(jié)合，需要熟悉等離子體加工工藝，且要有扎實(shí)的數(shù)理背景，勵(lì)兆科技能很好地結(jié)合客戶的實(shí)際工藝需求來(lái)研究和優(yōu)化算法。

公司副總裁宋偉表示：" 在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全要求和實(shí)際市場(chǎng)需求的背景下，射頻等離子領(lǐng)域需要一只高質(zhì)量高效率的科學(xué)家背景團(tuán)隊(duì)來(lái)盡快突破國(guó)內(nèi)技術(shù)的天花板，挑戰(zhàn)并最終超越國(guó)際市場(chǎng)上的產(chǎn)業(yè)龍頭。" 因此，在產(chǎn)品初步開(kāi)發(fā)成功后，他便加入了勵(lì)兆科技，期望以豐富的市場(chǎng)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)推動(dòng)勵(lì)兆的快速發(fā)展。

目前勵(lì)兆科技的主要產(chǎn)品是等離子射頻電源及其配套系統(tǒng)和遠(yuǎn)程等離子源 ( RPS ) 系統(tǒng)，而這些產(chǎn)品的基本作用就是在相關(guān)半導(dǎo)體工藝設(shè)備中產(chǎn)生等離子體并達(dá)成相關(guān)各種工藝。

在每道工序中，等離子體的產(chǎn)生及工作原理都不盡相同。比如大部分先進(jìn)刻蝕系統(tǒng)，需要射頻電源具備脈沖調(diào)制功能，以便用于刻蝕的等離子體有發(fā)生和中和的過(guò)程，可以穩(wěn)定地朝著工藝指定的方向刻蝕；又比如在部分原子層沉積工藝中，為了配合工藝前體氣體脈沖快速釋放的節(jié)奏，射頻電源需要配備復(fù)雜的調(diào)頻功能來(lái)快速穩(wěn)定降低射頻反射系數(shù)。

針對(duì)這些技術(shù)要求，公司成立一年便開(kāi)發(fā)出了 13.56MHz 系列和 400KHz 系列射頻電源產(chǎn)品，部分關(guān)鍵性能參數(shù)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，比如功率可調(diào)精度在 0.1 瓦，脈沖頻率從 2Hz 到 50KHz，占空比 1%-99%，配合獨(dú)有 MOFT 調(diào)頻功能 ( 模型導(dǎo)向的自動(dòng)調(diào)頻技術(shù) ) ，能實(shí)現(xiàn)亞毫秒量級(jí)的高速阻抗匹配，可以有效地滿足多種工藝的需求，在國(guó)內(nèi)率先為先進(jìn)蝕刻和原子層沉積等工藝提供了可選方案。

同時(shí)在遠(yuǎn)程等離子源 ( RPS ) 領(lǐng)域，公司正在開(kāi)發(fā)一款可用于 12 寸晶圓去膠 / 氧化 / 清潔等工藝領(lǐng)域的產(chǎn)品，預(yù)計(jì)在年底可為關(guān)鍵客戶送樣測(cè)試。

勵(lì)兆團(tuán)隊(duì)表示，在目前復(fù)雜國(guó)際形勢(shì)下，從根本上解決國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的整體供應(yīng)鏈安全問(wèn)題刻不容緩。勵(lì)兆科技的愿景是依托自身扎實(shí)的產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景，創(chuàng)造一家世界級(jí)的中國(guó)射頻等離子解決方案企業(yè)。

勵(lì)兆科技的創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)來(lái)自海內(nèi)外知名高校和研究機(jī)構(gòu)，擁有多年先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)，超過(guò)十年的射頻電源系統(tǒng)研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn)，在基礎(chǔ)研究，產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，工藝應(yīng)用和市場(chǎng)拓展等多個(gè)方面有著深厚的積累。首席科學(xué)家劉明教授，是上海交大電氣工程系博導(dǎo)，曾在美國(guó)普林斯頓大學(xué)從事高頻電力電子的研究。

公司副總裁宋偉是前愛(ài)思強(qiáng)中國(guó)區(qū)總經(jīng)理，畢業(yè)于北航。在加入勵(lì)兆科技之前，曾先后在美國(guó)維利安 ( Varian ) 、美國(guó)應(yīng)用材料 ( AMAT ) 、美國(guó)萬(wàn)機(jī) ( MKS ) 、美國(guó)柯狄 ( Kateeva ) 和德國(guó)愛(ài)思強(qiáng) ( AIXTRON ) 等多家歐美知名公司擔(dān)任中國(guó)區(qū)總經(jīng)理或銷(xiāo)售總監(jiān)等高管職位。

投資人說(shuō)：

中芯聚源表示，射頻和等離子體系統(tǒng)是刻蝕等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件，技術(shù)難度高、國(guó)產(chǎn)化率低。勵(lì)兆科技團(tuán)隊(duì)具有豐富的科研及產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，技術(shù)實(shí)力強(qiáng)、能力全面。產(chǎn)品定義領(lǐng)先，關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平，可滿足半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件國(guó)產(chǎn)化的迫切需求。

臨港科創(chuàng)投表示，射頻電源及配套系統(tǒng)是半導(dǎo)體設(shè)備核心的電氣類(lèi)零部件產(chǎn)品，具有較高的技術(shù)難度和壁壘，是 " 卡脖子 " 的核心部件；國(guó)產(chǎn)射頻系統(tǒng)的產(chǎn)業(yè)化起步較晚，嚴(yán)重依賴進(jìn)口國(guó)產(chǎn)化率僅 1~5%，國(guó)產(chǎn)替代空間大。創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)均具有產(chǎn)業(yè)資深經(jīng)驗(yàn)和高校科研經(jīng)驗(yàn)，在射頻 / 等離子體系統(tǒng)涉及物理、電子、大功率射頻等交叉學(xué)科上擁有復(fù)合技術(shù)背景，具備大功率射頻、半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔兩方面的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，熟悉核心技術(shù)、了解用戶需求。

Monolith 礪思資本表示，射頻電源是產(chǎn)生等離子體的核心器件，高性能的大功率射頻電源是國(guó)產(chǎn)化先進(jìn)制程的必要設(shè)備。目前，射頻電源幾乎完全依賴進(jìn)口，亟需國(guó)產(chǎn)化。勵(lì)兆科技是國(guó)內(nèi)少有的國(guó)際領(lǐng)先的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，同時(shí)又有深厚的上下游產(chǎn)業(yè)積累，對(duì)于攻克其中的技術(shù)問(wèn)題，順利商業(yè)化大有幫助。

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