快科技8月7日消息，日前，河南東微電子材料有限公司（以下簡稱“東微電子”）宣布，其自主研發(fā)的光刻機(jī)用直線電機(jī)、光源、光纖、磁座等關(guān)鍵零部件，正式通過中芯國際和長鑫存儲嚴(yán)格認(rèn)證。

東微電子表示，這不僅是一次技術(shù)突破，更是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化進(jìn)程中邁出的堅(jiān)實(shí)一步。

據(jù)了解，2021年12月，國家五部門聯(lián)合發(fā)布的《重大技術(shù)裝備和產(chǎn)品進(jìn)口關(guān)鍵零部件、原材料商品目錄（2021年版）》明確將光刻機(jī)用直線電機(jī)列為關(guān)鍵“卡脖子”項(xiàng)目，直線電機(jī)的制造和生產(chǎn)技術(shù)對我國打破國外光刻機(jī)技術(shù)壟斷具有重要意義。

面對技術(shù)封鎖，東微電子組建技術(shù)攻堅(jiān)團(tuán)隊(duì)，歷經(jīng)多年研究，對光刻機(jī)用關(guān)鍵零部件的特殊性能指標(biāo)、極端使用環(huán)境和精密制備工藝發(fā)起全面攻關(guān)，對標(biāo)國際頂尖，解決國產(chǎn)痛點(diǎn)。

據(jù)介紹，直線電機(jī)是光刻機(jī)運(yùn)動平臺的核心零部件。

光刻機(jī)需將電路圖案以納米級精度“雕刻”在硅片上，直線電機(jī)直接驅(qū)動工作臺和掩模臺進(jìn)行高速、超精密直線運(yùn)動，其性能決定了定位精度和運(yùn)動穩(wěn)定性。

隨著芯片制程進(jìn)入納米時(shí)代，傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)電機(jī) + 傳動機(jī)構(gòu)的方式已難以滿足，直線電機(jī)憑借直接驅(qū)動、無機(jī)械損耗、響應(yīng)快、精度高等優(yōu)勢成為唯一選擇。

高端光刻機(jī)用直線電機(jī)技術(shù)門檻極高，國內(nèi)市場嚴(yán)重依賴進(jìn)口。

東微電子官網(wǎng)顯示，公司于2018年落戶河南省鄭州市航空港實(shí)驗(yàn)區(qū)，并在上海、北京、無錫、廈門等地設(shè)有研發(fā)生產(chǎn)基地。

公司致力于成為高端集成電路制造用材料和設(shè)備零部件一站式服務(wù)平臺，為中國半導(dǎo)體解決“卡脖子”難題。

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